ハンドラッピングプレート＆アローイポリシングプレート

平坦性を必要とされる中で、ラッピングマシーンで加工できない特殊ワーク、加工数量の少ないワーク、カーボンシールの仕上げ等に最適です。 表面仕上げを保証するために、これらのプレートは、高密度、低多孔性で仕上げております。

ダイヤモンドシステム用ラップレート

●鋳物鋳鉄プレート
●銅プレート
●錫プレート
●セラミックプレート

ポリシングクロス

●プレポリッシング、ファイナルポリッシング、セリュームパッド、ダイヤシステム用等あらゆる種類のポリシングクロスをご用意しています。
●サイズ／６”～７８”
●ポリウレタンパッド、ファイナルクロス、酸化セリュームパッド、ダイヤシステム用クロス。

オプティカルフラット

ラップジャパンオプティカルフラットは溶隔石英、又はゼロデュアガラスで造られておりますが、それは温度膨張が少なく、又耐摩耗性が大きい点で優れております。読取誤差を防止するために両面共平面仕上がりが施されており、その平面精度は1/2・1/4・1･10ライトバンドの3段階があります。
直径2インチ～12インチまでのサイズを取り揃えております。

光学測定原器

光源とその他必要部品を内蔵した単体ユニットになっております。光源は決められた波長を持った眩耀のない明るい光を放つヘリウムチューブを使用しておりますので明暗対照の干渉縞が鏡面は勿論半鏡面の測定上でも用意に観察できます。
ラップジャパンオプティカルフラットを併用
して直径150㎜までの測定はモデルMLS-8で、
それ以上のものはモデルMLS-16で0.05μ以下
の精度で測定が可能です。

定寸冶具(AccuPOL)

ラップジャパンAccuaPOLは非常に薄く、もろいウェハのための定寸加工で使われます。内臓されている可調スプリングのテンション圧力により、ウェハに可変的な圧力加工が可能。デジタル式ダイヤルゲージのＬＣＤ表示により、加工除去量の連続モニタリングでき又、ワイヤレスシステムを導入する事で研磨装置への自動停止制御が可能となります。
ラップマスターAccuPOLはいろいろな構成要素サイズと形のために真空チャックもご用意しております。

ポリシングスタンド&ポリシングペーパー

光波干渉方式で平面を測定する場合ラップ面は鏡面状態に加工し反射力を最善にする必要があります。ラップジャパンポリシングスタンドは加工物のフチダレを防止するために定盤上に超微粒の研磨紙を強く伸ばし貼ってありますが新しい研磨紙との取り換えが簡単にできる様になっており研磨紙を有効に使用する事が出来ます。スタンドは幅300m/mの研磨紙をロール状にして収容、300×300㎜のポリシング可能面積があります。

平坦度測定器(フラットネスゲージ)

ラッピング加工はラッピングプレート平面精度の転写加工方法により、ラッピングプレートの平坦度測定は欠かせません。
日常のメンテンス管理としてラップジャパン平坦度測定器をお勧めします。

セラミックスリング
●ダイヤモンドドレッサーリング
●特殊2層式ダイヤモンドドレッサー
●ナイロンブラシリング
●ワークホルダー

ラッピング・ポリシング加工に必須な各種リング・ドレッサー・ホルダーをお客様の要求に答え、多くの材料でご用意致します。
リングの面圧力を高め、ダイヤモンド粒子のチャージング向上など特殊セラミックスも製作しております。

両面ラッピング・ポリシング用、キャリア

ガラエポ製、金属製、その他、特殊素材などの各種キャリアを設計製作しております。

●CMPウェハ用テンプレート