ウエハ平坦度測定器
| MODEL:DLW-300 | ||
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DLW-300は各種ウェハ対応の多機能な計測装置です。 2基の対向する半導体レーザー変位計にて厚み及びSoriを測定できる装置です。 本装置は測定時の揺れを最小限にする為、Y軸(前後軸)及びθ軸(回転軸)にＹはインド産黒御影石を使用した高精度なエアーベアリングを採用しており、ウェハの厚みデータを正確に検出する事が可能です。PCに取り込まれたデータを解析しグローバルフラットネス、サイトフラットネス，ワープ、ソリ及びエッジロールオフの形状評価が出来ます。 注）本機、厚み測定にはウェハ表面粗さ約＃２０００メッシュ以上の鏡面が必要です。 |
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