ウエハワックス貼り付け装置
真空式大口径エアーバック加圧システム
| MODEL:LAPJAPAN LHP-500 | |||
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LAPJAPAN LTP-500は各種ウェハ対応の多機能なワックス貼り付け装置です。本装置はウェハを真空室内でエアーバック加圧式による高精度なワックス貼り付け装置です。 ウェハワックスの貼り付け温度制御、圧力制御、ウェハワックス冷却制御をPLCで行っており、ワックスの膜厚均一化、ウェハの反りに対応しております。 |
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| 貼り付けプレート最大φ485㎜対応 | φ500㎜大口径エアーバック | |
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